Verdunstungsboote zeichnen sich in Vakuumöfen aus

Das Verdampfungsboot ist ein Vakuumofen, um die Kernkomponenten der Materialverdampfung zu erreichen. Seine Funktion besteht darin, die Verdunstung von Materialien zu tragen und es durch Erhitzen verdampft zu machen, die in einer Vakuumumgebung abgelagert werden, um einen dünnen Film zu bilden. Das Folgende aus der Anwendungsszene, Materialeigenschaften, technischen Punkten und Branchenanwendungen und anderen Aspekten der detaillierten Analyse des Verdunstungsboots in den Vakuumofenanwendungen:

Eine Kernanwendungsszene

1. Thin film deposition and coating preparation vacuum furnace through the evaporation boat heating evaporated materials (metals, alloys, compounds, etc.), so that it is in a low-pressure environment, vaporization and deposition of the substrate surface, the formation of functional thin films, including: conductive / insulating film: Metal electrodes (Al, Cu, Au), transparent conductive film (ITO), insulating layer (SiO₂, Sinₓ), verwendet in Chipherstellung, Leiterplatten, MEMS -Geräten. Optische Filme: Transmissionenverstärkungsfilme (MGF₂), reflektierende Filme (AG, AL), Filterfilme (mehrschichtige dielektrische Filme), die in optischen Linsen, Handykameras, Displays verwendet werden. Funktionsbeschichtungen: Verschleißresistente Beschichtungen (Zinn, CRN), hitzebeständige Filme (Metalllegierungen), Korrosionsresistente Filme (PTFE), verwendet in Automobilglas, Schneidwerkzeugen, Luft- und Raumfahrtkomponenten.

2. Materialreinigung und Modifikation der Trennung von hoher Purity-Material: Die Verwendung verschiedener Substanzen mit unterschiedlichem Dampfdruck durch die Verdampfungsbootheizung, um die Reinigung von Seltenerdelementen (wie ND, DY), Edelmetalle (Au, Pt) zu erreichen. Oberflächen -Doping -Behandlung: Verdunstung von Dotierstoffen (wie B, N) auf der Oberfläche von Halbleiterwafern oder Batterieelektroden, um die elektrischen oder optischen Eigenschaften von Materialien zu verbessern.

Zweitens die technischen Punkte und Designanforderungen

1. Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit des Verdampfungsboots durch Widerstandserwärmung oder Elektronenstrahl -Bombardierungserwärmung müssen die Temperatur nach dem Materialdampfdruck einstellen (z.

Bootskörperdesign (wie die Tiefe der Rille, der Neigungswinkel), um sicherzustellen, dass die Verdunstung des Materials gleichmäßig erhitzt wird, um eine durch Spritzen oder Verflüchtigung der Verunreinigung verursachte lokale Überhitzung zu vermeiden.

2. Vakuum -Matching Vakuumumgebung (normalerweise 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) kann den Siedepunkt des Materials reduzieren, die Verdunstungsrate verbessern und gleichzeitig die Oxidation vermeiden. Verdunstungsbootmaterialien müssen unter hohem Vakuum stabil sein, z. B. das Graphitboot muss eine hohe Temperaturoxidation vermeiden (müssen mit inerten Gas wie AR gefüllt werden).

3.. Chemische Kompatibilität zur Vermeidung der Verdunstung von Materialien und der Reaktion der Bootsboot: Beispielsweise sollte die Verdunstung von Zn, S-haltigen Materialien, kein Molybdänboot verwenden (leicht zu einem niedrigen Schmelzpunkt-Mos ₂ zu Korrosion zu bilden); Die Verdunstung des Nitrids bevorzugte Bornitridboot, um den Metallbootkörper und die Reaktion des N -Elements zur Erzeugung von Verunreinigungen zu verhindern.

4. Lebens- und Ersatzzyklus Nach langfristiger Verwendung kann das Boot auf die Material-Schmelzerosion, die Verdunstungsreste oder das Verformungsfehler, die regelmäßige Wartung (z. B. Ultraschallreinigung) oder den Austausch zurückzuführen sein, um die Stabilität der Beschichtungsqualität zu gewährleisten. Typische Branchenanwendungen

1. Semiconductor und mikroelektronische Chipherstellung: Verdunstung von AL, Cu -Vorbereitung integrierter Schaltungselektroden unter Verwendung von Molybdänboot oder Wolframboot; Die Ablagerung der Sio₂ -Isolationsschicht kann optionales Graphitboot oder Bornitridboot sein (um eine Metallkontamination zu vermeiden). Power Devices: Die Verwendung von Bornitridbootverdampfung GaN, ALN, EPITAXIAL -Schicht mit hohem Elektronenmobilitätstransistor (HEMT), um die Einführung von Verunreinigungen im Metallbootkörper zu vermeiden.

2. Optikkomponenten für Optik und Display Technologie: Wolframbootverdampfung AG, Al -Vorbereitung von Spiegeln, Verdampfung von Graphitbooten, Sio₂ -Vorbereitung des Vermietungsverbesserungsfilms, um die Einheitlichkeit von Film und eine niedrige Defektrate zu gewährleisten.

OLED und Mini-LED: Bor-Nitridbootverdampfung von organischen lichtemittierenden Materialien (wie IR-Komplex) oder Quantenpunkten, um die Körpersmaterialien und reaktive organische Moleküle zu vermeiden, um die Lebensdauer der Geräte zu verbessern.

3. New Energy Field Solarzellen: Molybdänbootverdampfung Agelektrodenschlammel, Graphitboot Abscheidung Sinₓ Reduktion Film; In der Chalkogenid-Batterie, Bor-Nitridbootverdampfungsformamidin-Lead-Jod (FAPBI₃), um eine Kontamination durch Wasserdampf und Verunreinigungen zu verhindern.

4. Lithium-Ionen-Batterien: Tantal Boat Verdunstung Li-Metallvorbereitung von Festkörperbatterie-Elektroden, Verwendung seines Lithium-Korrosionsbeständigkeit; Verdunstung von B, N-Elementen dotierte modifizierte Anode auf Siliziumbasis, um die Zyklusleistung zu verbessern.

5. High-End-Geräte- und Luft- und Raumfahrtwerkzeugbeschichtung: Wolframbootverdampfung Ti, CR-Zubereitung, CRN-Hartbeschichtung, Verbesserung der Werkzeugverschleißfestigkeit; Bornitridbootverdampfung des Diamantvorläufers, die Vorbereitung des DLC -Films, der in Luftfahrtlagern verwendet wird.

Behandlung mit hoher Temperaturlegierung: Verdampfung von Al, Y und anderen Elementen durch Molybdänboot im Vakuumofen zur Bildung von Antioxidationsschicht (z. B. Aluminiumoxidbeschichtung) für Aero-Engine-Klingen.

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