SILIZIUMKARBID-KANTILVERSCHLÄMMUNG
Anwendungsbereiche: In Diffusionsöfen und Hochtemperatur-Oxidations-Diffusionsöfen, die in der Halbleiterfertigungsindustrie zum thermischen Wachstum und zur Oxidation von Siliziumwafern eingesetzt werden, ist das Auslegerpaddel eine Schlüsselkomponente des Wafer-Ladesystems, um die Gleichmäßigkeit von Wafer und Ofenrohr für mehr sicherzustellen gleichmäßige Diffusion und Oxidation. Auslegerpaddel aus Siliziumkarbid zeichnen sich durch hohe Festigkeit, hohe Reinheit, hohe Wärmeleitfähigkeit, keine Porosität, Beständigkeit gegen Säure- und Alkalikorrosion, keine Kontamination bei hohen Temperaturen, gute Thermoschockstabilität und hohe Belastbarkeit aus. In Kombination mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der dem von LPCVD-Beschichtungen ähnelt, kann der Einsatz von freitragenden Paddeln aus Siliziumkarbid in LPCVDs die Wartungsreinigungszyklen erheblich verlängern und die Kontamination erheblich reduzieren.
Beschreibung
Einer der Hauptvorteile der Siliciumcarbid-Suspensionsaufschlämmung ist ihre Fähigkeit, konsistente und gleichmäßige Ergebnisse zu liefern. Die Aufschlämmung sorgt für eine glatte Oberfläche und eine hervorragende Oberflächenqualität und stellt sicher, dass die bearbeiteten Teile frei von Kratzern, Rissen oder anderen Mängeln sind.
Ein weiterer Vorteil der Siliciumcarbid-Suspensionsaufschlämmung besteht darin, dass sie umweltfreundlich ist. Die Gülle enthält keine gefährlichen Verbindungen oder giftigen Chemikalien, was ihre Verwendung und Entsorgung sicher macht.
Darüber hinaus ist Siliziumkarbid-Suspensionsschlamm äußerst kosteneffektiv, da er Materialverschwendung und Verarbeitungszeit erheblich reduziert. Die Aufschlämmung ist in der Lage, Material schneller zu entfernen als herkömmliche Schleif- und Poliertechniken und erhöht so die Effizienz des Herstellungsprozesses.
